ZEISS Crossbeam

Grazie a una maggiore qualità di produzione e a tecnologie di finitura superficiale all’avanguardia, i difetti sono oggi più piccoli e meno frequenti. I metodi microscopici devono quindi essere utilizzati per trovare, localizzare, preparare e indagare i difetti superficiali e le loro cause. Questa brochure illustra un approccio di microscopia correlativa per un’indagine efficiente durante l’analisi dei guasti.

In questo contesto, le attività di microscopia ottica sono gestite dal microscopio digitale ZEISS Smartzoom 5, la preparazione e l’indagine sono eseguite con ZEISS Crossbeam laser ed entrambi i sistemi sono correlati da ZEISS ZEN Connect per una precisa localizzazione dei difetti nel FIB-SEM.

La ricerca della causa principale di difetti scarsamente distribuiti e di piccole dimensioni su campioni di grandi dimensioni per un’analisi efficiente dei guasti richiede un flusso di lavoro conveniente per localizzare, documentare, ricollocare, preparare e indagare le regioni di interesse.

I microscopi elettronici a scansione con fascio ionico focalizzato (FIB-SEM) superano le limitazioni della preparazione convenzionale dei campioni materialografici. Tuttavia, poiché i microscopi elettronici hanno in genere un campo visivo limitato, a volte è più facile eseguire la fase di localizzazione al microscopio ottico. Per questo motivo, gli operatori hanno bisogno di un sistema che permetta loro di localizzare l’area dell’immagine nel microscopio ottico e poi di recuperarla nel FIB-SEM.

La soluzione software ZEISS ZEN Connect si combina con ZEISS ZEN Data Storage per fornire esattamente questo. Il nuovo laser a femtosecondi della famiglia ZEISS Crossbeam offre anche una preparazione specifica per aree estese. Con l’aiuto della lucidatura delle sezioni trasversali con laser fs e FIB e dell’analisi EDS, la causa dei difetti superficiali nell’esempio precedente è stata determinata come scarti di fibra di carbonio.

L’approccio della microscopia correlativa consente inoltre di indagare efficacemente più di un’area di interesse. Tutti i risultati vengono successivamente salvati in un progetto coerente, con l’opzione ZEISS ZEN Data Storage che garantisce la piena accessibilità per ulteriori indagini o reportistica.